关键词:
ZnO
紫外探测器
水质检测
等离子激元
金属电极
摘要:
氧化锌(ZnO)是一种宽禁带半导体材料,具有独特的物理和化学特性,是制备光电探测器的优秀材料之一。在制备ZnO紫外探测器的过程中,由于电极材料的不同使得金属-半导体接触类型分为肖特基和欧姆接触,其中欧姆接触具有较低的接触电阻和良好的电流稳定性。由于ZnO紫外光电探测器光吸收率较低,可以利用局域表面等离子体来修饰紫外探测器,其具有高的空间局域特性和强的局域场增强特性,成为了提高入射光利用率的最有效手段之一。ZnO是理想的紫外探测材料,根据实际应用的需要,针对传统水质检测化学分析法检测周期长、操作复杂、成本高、存在二次污染等问题,本论文提出了基于光谱分析法对水质溶液进行简便、有效、及时的检测技术,以实现ZnO紫外光电探测器在水质检测方面的初步探究为目标,通过在ZnO表面制备不同金属电极,得到性能稳定ZnO紫外光电探测器,利用局域表面等离激元有效提升器件的性能,最终通过制备的良好性能的ZnO紫外光电探测器在水质方面进行检测及分析,主要研究成果如下:(1)从优化金属电极与ZnO薄膜接触特性的角度出发,成功的在ZnO薄膜上制备了银(Ag)、铝(Al)和钛(Ti)三种金属-半导体-金属(MSM)电极结构,实现了三种金属电极和ZnO薄膜之间良好的欧姆接触;对制备的探测器进行退火处理,探究不同退火温度对三种金属电极的ZnO紫外光电探测器的性能影响;制备了不同叉指对数的ZnO紫外探测器,对三种金属电极的ZnO紫外光电探测器进行性能测试,随着叉指对数的增多,提高了探测器的光电子收集效率,使得更多的光电子能够被探测器所吸收,从而提高了器件的响应度。结果表明,经过退火处理15对叉指的ZnO/Ag、ZnO/Al和ZnO/Ti紫外光电探测器在3 V偏压下的峰值响应度分别为0.59 A/W、0.38A/W和0.58 A/W。(2)从利用局域表面等离激元共振机制,增强探测器的光吸收率的角度出发,成功的在ZnO/Ag、ZnO/Al和ZnO/Ti紫外光电探测器表面溅射Pt纳米粒子进行了修饰工作,制备出了具有光电性能更加优异的ZnO紫外光电探测器。在探测器上溅射不同时间的Pt纳米粒子,增强了探测器对紫外光的吸收,极大的提高了器件的响应度。经过测试表明,相对于未进行修饰的探测器,溅射Pt纳米粒子修饰的ZnO紫外光电探测器在相同偏压下的响应度增大了数倍,表现出更好的光响应性能。溅射30 s Pt纳米粒子修饰的ZnO/Ag、ZnO/Al和ZnO/Ti紫外光电探测器在3 V偏压下的峰值响应度分别增大了5.9倍、5.1倍和6.3倍,峰值响应度分别为0.829 A/W、0.61 A/W和1.028A/W。(3)从基于光谱法对水质溶液进行无实时、简便、快速、低成本的检测的角度出发,创新性的开展了ZnO紫外光电探测器在水质检测方面的初步探究工作,拓宽了光电探测器在水质检测方面的应用前景。对不同浓度的邻苯二甲酸氢钾标准溶液(COD标准溶液)和福尔马肼浑浊度标准溶液(TURB标准溶液)进行吸收光谱测试,再通过ZnO紫外光电探测器对溶液的水质参数化学需氧量(COD)和浊度(TURB)进行检测,结果表明ZnO紫外光电探测器的响应度与COD和TURB浓度都呈现出良好的线性关系,实现了ZnO紫外光电探测器对水质溶液中微量物质的有效检测。